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MEMS 振（zhèn）鏡
微型，高性能，電磁驅動的二維激光掃（sǎo）描MEMS振鏡（jìng）
S13989-01H是電磁驅動振鏡，結合了我們獨（dú）特的MEMS（微機（jī）電係（xì）統）技術。 通過將（jiāng）磁鐵（tiě）布置在振鏡下方，可以使設備占地（dì）空間更小。 通過采用氣密密封包裝，可實現高可靠性（xìng）。 振鏡周圍的線圈中流動（dòng）的電流根據弗萊明定律（lǜ）驅動振鏡（jìng）產生洛倫茲力（lì）。 濱鬆MEMS反射振鏡具有大的光（guāng）學偏轉角和高反射鏡反射率。
產品特點
· 低電流運行
· 超小型尺寸
· 較（jiào）大的光學偏轉角
典型應用
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產品介紹
微型，高性能，電磁驅動的二維激光掃描MEMS振鏡

S13989-01H是電磁驅動振鏡，結合了我們（men）獨特的MEMS（微機電係統）技術（shù）。 通過將（jiāng）磁鐵布置（zhì）在（zài）振鏡下（xià）方，可以使設備占地空間更小（xiǎo）。 通過采用氣密密封包裝，可實現高可靠性。 振（zhèn）鏡周圍的線圈中流動的電流根據弗萊明定律驅動振鏡產生洛倫茲力。 濱鬆MEMS反射（shè）振鏡具有大的光學偏轉角和高反射（shè）鏡反射率（lǜ）。

產品型號及主要指標

類型 For 2-dimensional scan
掃（sǎo）描（miáo）模式 2-axis raster scan
運行模式 Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode
振鏡尺寸 φ1.23 mm
振鏡材料 Aluminium
光學偏轉（zhuǎn）角 Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 °
驅動頻率（最大值） Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz


外形（xíng）尺寸圖（單位：mm)

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