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20W EUV 光源
用於HVM的（de）EUV光（guāng）源的一大優勢就在於可以在（zài）10 kHz或更（gèng）高的（de）脈衝重複頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好（hǎo）等特點，加之采用Z-pinch™技術，非常（cháng）適用於計量以及研究等（děng）應用。
產品特點
· 獨特的（de）無電極Z-Pinch技術（專利（lì）正在申請中） 低（dī）電極碎屑/低成本（běn）
· 使（shǐ）用Xenon將10W轉換為2pi 產品具（jù）有更高的亮（liàng）度和功率可以運用到更多（duō）的應（yīng）用中
· 小等離子體尺寸 直徑小於1mm
· 小型緊湊性價比高 占地麵積（jī）小
· 符合CE和SEMI S2-0715標準
典型應用
· EUV掩模檢測
· EUV測量
· EUV抗（kàng）蝕劑顯影
· EUV顯微（wēi）
相關文件
產品介紹（shào）

用於HVM的EUV光源的一大優勢就在於可（kě）以在10 kHz或更高的脈衝重（chóng）複頻率下（xià）運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等（děng）特點，加之采用Z-pinch™技術，非常適用於計量以及研究等應用。



原理介紹（shào）

為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進（jìn）行了如（rú）下的優化，以期更加地用戶友（yǒu）好：1、用戶可以根（gēn）據對峰值功率和（hé）峰值亮度（dù）的不同來調節EUV的（de）光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小於1mm。3、係統外側留有光（guāng）學接口，方便客戶進（jìn）行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁麵，客（kè）戶可跟根據需求選擇手動或者（zhě）自動菜單。



產品型號及（jí）主要指標
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