產品中心
高脈衝重頻10 kHz EUV 光源
用於HVM的EUV光源（yuán）的一大優勢就在（zài）於可（kě）以在（zài）10 kHz或更高的脈衝（chōng）重複頻率下（xià）運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友（yǒu）好等特點，加之采用Z-pinch™技術（shù），非常（cháng）適用於計量（liàng）以及研究等應用。
產品特點
· 獨（dú）特的無電極（jí）Z-Pinch技術（專利正在申請中） 低電極碎屑/低成本（běn）
· 10 kHz的脈（mò）衝頻率 支持大批量製（zhì）造（HVM）模擬， 可以一周七天，每天24小（xiǎo）時連續工作
· 小等離子體尺寸 直徑小於1mm
· 小型緊湊性（xìng）價比高 占地麵積小（xiǎo）
· 符合CE和SEMI S2-0715標準（zhǔn）
典型應用
· 加速EUV光學測試
· EUV測量
· EUV抗蝕劑顯影
· 缺陷檢查
· EUV顯微
相關（guān）文件
產品介紹（shào）

用於HVM的EUV光源（yuán）的一大優勢就在於可以在10 kHz或（huò）更高的脈衝重複頻率（lǜ）下運行。光（guāng）源本身具有小型緊湊成本（běn）低且用戶友好等特點（diǎn），加之采（cǎi）用Z-pinch™技術，非常適用（yòng）於計（jì）量以（yǐ）及研究等應用。



原理介（jiè）紹

EQ-10HR是一個完全獨立的係統，可以集成到（dào）其他設備中，該係統內部包括無電極（jí）Z-pinch光源組件、磁懸浮真空泵子係統、氣體輸送子係統，功率輸（shū）送子（zǐ）係統和電子控製設備。EQ-10HR能夠將高達0.5 mJ /脈（mò）衝的寬帶EUV傳輸到2pi球麵度中，並且將以最高10 kHz的脈衝重複頻率連續運（yùn）行。

為了滿足不同（tóng）應用的使用需（xū）求，該產（chǎn）品在使用上進行了如下的優化，以期更加地用戶友（yǒu）好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度（dù）的不同來（lái）調節EUV的光輸出（chū）。2、在（zài）典型操作中，等離子體的直徑通常小（xiǎo）於1mm。3、係統外側（cè）留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的（de）連接。4、自定義彩色用戶頁麵（miàn），客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。



產品型號及主（zhǔ）要指標

相關產（chǎn）品
在線留言
導航 產品（pǐn） 資料 電話
网站地图 国产嫩草影院在线观看88-嫩草VA88V嫩草-嫩草影院精品视频app下载-国产精品嫩草影院桃色